Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02623965
Soumis le : mardi 26 mai 2020-10:03:02
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:42:00
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02623965 , version 1
Citer
Samia Belahcen. Investigation of TiN nucleation mechanisms during PEALD assisted by medium energy ions. 19th conference on Atomic Layer Deposition, Jul 2019, Bellevue (Washington - USA), United States. ⟨hal-02623965⟩
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