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Communication dans un congrès

Investigation of TiN nucleation mechanisms during PEALD assisted by medium energy ions

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02623965
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 26 mai 2020 - 10:03:02
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:03

Identifiants

  • HAL Id : hal-02623965, version 1

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Citation

Samia Belahcen. Investigation of TiN nucleation mechanisms during PEALD assisted by medium energy ions. 19th conference on Atomic Layer Deposition, Jul 2019, Bellevue (Washington - USA), United States. ⟨hal-02623965⟩

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