Article Dans Une Revue
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
Année : 2018
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344541
Soumis le : lundi 4 novembre 2019-11:07:24
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:58:23
Citer
Jérôme Reche, Maxime Besacier, Patrice Gergaud, Yoann Blancquaert, Guillaume Freychet, et al.. Programmed line width roughness metrology by multitechniques approach. Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018, 17 (04), pp.1. ⟨10.1117/1.JMM.17.4.041005⟩. ⟨hal-02344541⟩
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