Programmed line width roughness metrology by multitechniques approach - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS Année : 2018

Programmed line width roughness metrology by multitechniques approach

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344541

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-11:07:24

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:22

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Dates et versions

hal-02344541 , version 1 (04-11-2019)

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Citer

Jérôme Reche, Maxime Besacier, Patrice Gergaud, Yoann Blancquaert, Guillaume Freychet, et al.. Programmed line width roughness metrology by multitechniques approach. Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2018, 17 (04), pp.1. ⟨10.1117/1.JMM.17.4.041005⟩. ⟨hal-02344541⟩

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