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Programmed line width roughness metrology by multitechniques approach

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344541
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : lundi 4 novembre 2019 - 11:07:24
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:07

Identifiants

Collections

CNRS | CEA | DRT | LETI | LTM | UGA | CEA-GRE

Citation

Jérôme Reche, Maxime Besacier, Patrice Gergaud, Yoann Blancquaert, Guillaume Freychet, et al.. Programmed line width roughness metrology by multitechniques approach. Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, 2018, 17 (04), pp.1. ⟨10.1117/1.JMM.17.4.041005⟩. ⟨hal-02344541⟩

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