Manufacturing of roughness standard samples based on ACF/PSD model programming - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering Année : 2018

Manufacturing of roughness standard samples based on ACF/PSD model programming

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344525

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-11:04:05

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:13

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Dates et versions

hal-02344525 , version 1 (04-11-2019)

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Citer

Jérôme Reche, Maxime Besacier, Patrice Gergaud, Yoann Blancquaert. Manufacturing of roughness standard samples based on ACF/PSD model programming. Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, 2018, pp.10775, art. no. 1077519. ⟨10.1117/12.2327095⟩. ⟨hal-02344525⟩

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