Realisation and characterization of large silicon cavities for interferometric applications - Université Grenoble Alpes
Poster De Conférence Année : 2019

Realisation and characterization of large silicon cavities for interferometric applications

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344214

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-08:05:52

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:50:18

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Dates et versions

hal-02344214 , version 1 (04-11-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02344214 , version 1

Citer

Marie Panabière, Camille Petit-Etienne, Silvère Gousset, Hélène Ehrhardt, Jumana Boussey. Realisation and characterization of large silicon cavities for interferometric applications. JNTE 2019, Nov 2019, Grenoble, France. ⟨hal-02344214⟩

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