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Communication dans un congrès

4H-SiC Nanowire arrays formation by nanoimprint lithography, plasma etching and sacrificial oxidation

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344210
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : lundi 4 novembre 2019 - 07:57:36
Dernière modification le : jeudi 6 août 2020 - 03:02:37

Identifiants

  • HAL Id : hal-02344210, version 1

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Citation

Maximilien Cottat, Antonios Stavrinidis, Cécile Gourgon, Camille Petit-Etienne, Maria Androulidaki, et al.. 4H-SiC Nanowire arrays formation by nanoimprint lithography, plasma etching and sacrificial oxidation. WocSdice 2019, Jun 2019, Cabourg, France. ⟨hal-02344210⟩

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