Tilted beam SEM, 3D metrology for industry - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Tilted beam SEM, 3D metrology for industry

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02341368

Soumis le : jeudi 31 octobre 2019-13:00:57

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

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Dates et versions

hal-02341368 , version 1 (31-10-2019)

Identifiants

Citer

Charles Valade, Jérôme Hazart, Sébastien Bérard-Bergery, Elodie Sungauer, Maxime Besacier, et al.. Tilted beam SEM, 3D metrology for industry. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII, Feb 2019, San Jose, United States. pp.32, ⟨10.1117/12.2514977⟩. ⟨hal-02341368⟩

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