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Communication dans un congrès

Tilted beam SEM, 3D metrology for industry

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02341368
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 31 octobre 2019 - 13:00:57
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:06

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Charles Valade, Jérôme Hazart, Sébastien Bérard-Bergery, Elodie Sungauer, Maxime Besacier, et al.. Tilted beam SEM, 3D metrology for industry. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII, Feb 2019, San Jose, United States. pp.32, ⟨10.1117/12.2514977⟩. ⟨hal-02341368⟩

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