Tilted beam SEM, 3D metrology for industry - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2019
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02341368 , version 1 (31-10-2019)

Identifiants

Citer

Charles Valade, Jérôme Hazart, Sébastien Bérard-Bergery, Elodie Sungauer, Maxime Besacier, et al.. Tilted beam SEM, 3D metrology for industry. Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XXXIII, Feb 2019, San Jose, United States. pp.32, ⟨10.1117/12.2514977⟩. ⟨hal-02341368⟩
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