Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

Cyclic BCl3-based plasma treatments for enhancing surface quality of (010) β-Ga2O3 substrates

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338953
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 30 octobre 2019 - 11:04:26
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:06

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338953, version 1

Collections

Citation

Y. Douest, C. Mannequin, T. Ito, Y. Ozaki, C. Vallee, et al.. Cyclic BCl3-based plasma treatments for enhancing surface quality of (010) β-Ga2O3 substrates. Joint Conference of XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases (XXXIV ICPIG) and the 10th International Conference on Reactive Plasmas (ICRP-10), Jul 2019, Sapporo, Japan. ⟨hal-02338953⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

31