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Communication dans un congrès

Atomic Layer processing using cold plasma

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338922
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 30 octobre 2019 - 10:59:45
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:06

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338922, version 1

Collections

CNRS | CEA | LTM | UGA

Citation

Vallée Christophe. Atomic Layer processing using cold plasma. AIST, Mar 2019, Tsukuba, Japan. ⟨hal-02338922⟩

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