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Communication dans un congrès

Characterizing Ultra-thin Layer Growth and Area Selective Deposition using High Resolution Low Energy Ion Scattering (LEIS)

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338900
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 30 octobre 2019 - 10:53:12
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:06

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338900, version 1

Collections

CNRS | CEA | DRT | LETI | LTM | UGA | CEA-GRE

Citation

T. Grehl, P. Brüner, V. Pesce, B. Pelissier, R. Gassilloud, et al.. Characterizing Ultra-thin Layer Growth and Area Selective Deposition using High Resolution Low Energy Ion Scattering (LEIS). AVS 66th International Symposium 2019, Oct 2019, Colombus, United States. ⟨hal-02338900⟩

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