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Communication dans un congrès

Cold plasma for Atomic Layer Processing: from ALD and ALE to Area Selective Deposition

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338883
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 30 octobre 2019 - 10:48:12
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:06

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338883, version 1

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Citation

Vallée Christophe. Cold plasma for Atomic Layer Processing: from ALD and ALE to Area Selective Deposition. International workshop on nanoparticles and nanostructures synthesized by plasmas for energy applications (XXXIV ICPIG) (ICRP-10),, Jul 2019, Sapporo, Japan. ⟨hal-02338883⟩

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