PiezoNEMS: Semiconductor nanowires and heterostructures for sensing and energy harvesting
L. Montès
(1)
,
X. Xu
(1)
,
A. Potie
(2)
,
B. Bercu
(1)
,
R. Hinchet
(1)
,
F. Rochette
(3)
,
G. Ardila
(1)
,
P. Morfouli
(1)
,
M. Mouis
(1)
,
R. Songmuang
(4)
,
B. Salem
(2)
,
T. Baron
(2)
1
IMEP-LAHC -
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 NEEL - NPSC - Nanophysique et Semiconducteurs
2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 NEEL - NPSC - Nanophysique et Semiconducteurs
G. Ardila
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172136
- IdHAL : gustavo-ardila
- IdRef : 129121894
P. Morfouli
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173188
- IdHAL : panagiota-morfouli
- IdRef : 253130662
M. Mouis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170882
- IdHAL : mireille-mouis
- IdRef : 034043543
R. Songmuang
- Fonction : Auteur
- PersonId : 741263
- IdHAL : rudeesun-songmuang
- ORCID : 0000-0003-3721-3029
- IdRef : 17979440X
B. Salem
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174867
- IdHAL : bassem-salem
- ORCID : 0000-0001-8038-3205
- IdRef : 092216625
T. Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813