Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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Soumis le : jeudi 24 octobre 2019-15:45:41

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hal-02332009 , version 1 (24-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02332009 , version 1

Citer

B. Pelissier, R. Vallat, R. Gassilloud, S. Labau, C. Vallee. Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic. ECASIA 2019, Sep 2019, Dresde, Germany. ⟨hal-02332009⟩

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