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Communication dans un congrès

Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02332009
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 24 octobre 2019 - 15:45:41
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:05

Identifiants

  • HAL Id : hal-02332009, version 1

Collections

UGA | CNRS | CEA | DRT | LETI | LTM | CEA-GRE

Citation

B. Pelissier, R. Vallat, R. Gassilloud, S. Labau, C. Vallee. Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic. ECASIA 2019, Sep 2019, Dresde, Germany. ⟨hal-02332009⟩

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