Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02331961
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 24 octobre 2019 - 15:42:13
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:05

Identifiants

  • HAL Id : hal-02331961, version 1

Collections

UGA | CNRS | CEA | LTM

Citation

Bernard Pelissier. Quasi insitu XPS characterization applied to PEALD selective deposition of TiO2 The IMPACT 300mm project and platform: merging academic research and industrial applications in microelectronic. 30th World nanoconference, May 2019, Zurich, Switzerland. ⟨hal-02331961⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

24