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Tilted beam scanning electron microscopy, 3-D metrology for microelectronics industry

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02324657
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 22 octobre 2019 - 08:45:32
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:24

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Charles Valade, Jérôme Hazart, Sébastien Bérard-Bergery, Elodie Sungauer, Maxime Besacier, et al.. Tilted beam scanning electron microscopy, 3-D metrology for microelectronics industry. Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, Society of Photo-optical Instrumentation Engineers, 2019, 18 (03), pp.1. ⟨10.1117/1.JMM.18.3.034001⟩. ⟨hal-02324657⟩

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