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CMOS platform for atomic-scale device fabrication

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02004029
Contributeur : Xavier Jehl <>
Soumis le : vendredi 1 février 2019 - 15:04:49
Dernière modification le : jeudi 26 mars 2020 - 18:57:25

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Tomáš Škereň, Nikola Pascher, Arnaud Garnier, Patrick Reynaud, Emmanuel Rolland, et al.. CMOS platform for atomic-scale device fabrication. Nanotechnology, Institute of Physics, 2018, 29 (43), pp.435302. ⟨10.1088/1361-6528/aad7ab⟩. ⟨hal-02004029⟩

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