Article Dans Une Revue
Nanotechnology
Année : 2018
Xavier Jehl : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02004029
Soumis le : vendredi 1 février 2019-15:04:49
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:00:42
Citer
Tomáš Škereň, Nikola Pascher, Arnaud Garnier, Patrick Reynaud, Emmanuel Rolland, et al.. CMOS platform for atomic-scale device fabrication. Nanotechnology, 2018, 29 (43), pp.435302. ⟨10.1088/1361-6528/aad7ab⟩. ⟨hal-02004029⟩
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