Ni silicide nanowires analysis by atom probe tomography - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2014

Ni silicide nanowires analysis by atom probe tomography

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Physique [physics]

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hal-01991913 , version 1 (24-01-2019)

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Citer

M. El Kousseifi, F. Panciera, K. Hoummada, M. Descoins, T. Baron, et al.. Ni silicide nanowires analysis by atom probe tomography. Microelectronic Engineering, 2014, 120, pp.47-51. ⟨10.1016/j.mee.2013.12.011⟩. ⟨hal-01991913⟩

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