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Ni silicide nanowires analysis by atom probe tomography

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01991913
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 24 janvier 2019 - 10:46:03
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:10

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M. El Kousseifi, F. Panciera, K. Hoummada, M. Descoins, T. Baron, et al.. Ni silicide nanowires analysis by atom probe tomography. Microelectronic Engineering, Elsevier, 2014, 120, pp.47-51. ⟨10.1016/j.mee.2013.12.011⟩. ⟨hal-01991913⟩

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