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Chemical depth profiling and 3D reconstruction of III-V heterostructures selectively grown on non-planar Si substrates by MOCVD

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01991901
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 24 janvier 2019 - 10:39:11
Dernière modification le : mercredi 16 septembre 2020 - 10:42:50

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V. Gorbenko, M. Veillerot, A. Grenier, G. Audoit, W. Hourani, et al.. Chemical depth profiling and 3D reconstruction of III-V heterostructures selectively grown on non-planar Si substrates by MOCVD. physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters, Wiley-VCH Verlag, 2015, 9 (3), pp.202-205. ⟨10.1002/pssr.201409544⟩. ⟨hal-01991901⟩

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