Chemical characterization of III–V heterostructures in 3D architecture - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2015

Chemical characterization of III–V heterostructures in 3D architecture

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01991881

Soumis le : jeudi 24 janvier 2019-10:31:40

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Dates et versions

hal-01991881 , version 1 (24-01-2019)

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Citer

V. Gorbenko, A. Grenier, G. Audoit, R. Cipro, M. Martin, et al.. Chemical characterization of III–V heterostructures in 3D architecture. Microelectronic Engineering, 2015, 147, pp.219-222. ⟨10.1016/j.mee.2015.04.107⟩. ⟨hal-01991881⟩

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