InGaAs-OI Substrate Fabrication on a 300 mm Wafer - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue Journal of Low Power Electronics and Applications Année : 2016

InGaAs-OI Substrate Fabrication on a 300 mm Wafer

A. Lecestre
N. Mallet
  • Fonction : Auteur
G. Larrieu
  • Fonction : Auteur
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Sebastien Sollier
  • Fonction : Auteur
Julie Widiez
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Gweltaz Gaudin
  • Fonction : Auteur
Frédéric Mazen
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Thierry Baron
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Mickail Martin
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Marie-Christine Roure
  • Fonction : Auteur
Pascal Besson
  • Fonction : Auteur
Christophe Morales
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Elodie Beche
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Frank Fournel
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Sylvie Favier
  • Fonction : Auteur
Amelie Salaun
  • Fonction : Auteur
Patrice Gergaud
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Maryline Cordeau
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Christellle Veytizou
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Ludovic Ecarnot
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Daniel Delprat
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Ionut Radu
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Thomas Signamarcheix
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Domaines

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hal-01991855 , version 1 (24-01-2019)

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Citer

A. Lecestre, N. Mallet, G. Larrieu, Sebastien Sollier, Julie Widiez, et al.. InGaAs-OI Substrate Fabrication on a 300 mm Wafer. Journal of Low Power Electronics and Applications, 2016, 6 (4), pp.19. ⟨10.3390/jlpea6040019⟩. ⟨hal-01991855⟩

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