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InGaAs-OI Substrate Fabrication on a 300 mm Wafer

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Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01991855
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 24 janvier 2019 - 10:18:43
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:42

Identifiants

  • HAL Id : hal-01991855, version 1

Citation

A. Lecestre, N. Mallet, G. Larrieu, Sebastien Sollier, Julie Widiez, et al.. InGaAs-OI Substrate Fabrication on a 300 mm Wafer. Journal of Low Power Electronics and Applications, MDPI, 2016, 6 (4), pp.19. ⟨hal-01991855⟩

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