Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01961093
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018-16:57:26
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:53:47
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01961093 , version 1
Citer
G. Beainy, H. Fontaine, S. Cetre, C. Petit-Etienne, S. Labau, et al.. Etude des phénomènes de physisorption d’espèces chimiques sur des plaques de Si 300mm lors des transferts en mini-environnement contrôlés entre équipements en microélectronique. ELSPEC 2018, Jun 2018, Biarritz, France. ⟨hal-01961093⟩
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