Etude des phénomènes de physisorption d’espèces chimiques sur des plaques de Si 300mm lors des transferts en mini-environnement contrôlés entre équipements en microélectronique - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2018
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01961093 , version 1 (19-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01961093 , version 1

Citer

G. Beainy, H. Fontaine, S. Cetre, C. Petit-Etienne, S. Labau, et al.. Etude des phénomènes de physisorption d’espèces chimiques sur des plaques de Si 300mm lors des transferts en mini-environnement contrôlés entre équipements en microélectronique. ELSPEC 2018, Jun 2018, Biarritz, France. ⟨hal-01961093⟩
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