Etude des phénomènes de physisorption d’espèces chimiques sur des plaques de Si 300mm lors des transferts en mini-environnement contrôlés entre équipements en microélectronique - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Etude des phénomènes de physisorption d’espèces chimiques sur des plaques de Si 300mm lors des transferts en mini-environnement contrôlés entre équipements en microélectronique

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01961093

Soumis le : mercredi 19 décembre 2018-16:57:26

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

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Dates et versions

hal-01961093 , version 1 (19-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01961093 , version 1

Citer

G. Beainy, H. Fontaine, S. Cetre, C. Petit-Etienne, S. Labau, et al.. Etude des phénomènes de physisorption d’espèces chimiques sur des plaques de Si 300mm lors des transferts en mini-environnement contrôlés entre équipements en microélectronique. ELSPEC 2018, Jun 2018, Biarritz, France. ⟨hal-01961093⟩

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