Assets and limitations of parallel Angle Resolved XPS for chemical depth profiling on the 14nm and 28nm node technology - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2017
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01960746 , version 1 (19-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960746 , version 1

Citer

L. Fauquier, B. Pelissier, J. Avila, M.-C. Asensio, F. Roze, et al.. Assets and limitations of parallel Angle Resolved XPS for chemical depth profiling on the 14nm and 28nm node technology. ECASIA 2017, Sep 2017, Montpellier, France. ⟨hal-01960746⟩
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