Communication Dans Un Congrès
Année : 2017
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960746
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018-15:21:56
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01960746 , version 1
Citer
L. Fauquier, B. Pelissier, J. Avila, M.-C. Asensio, F. Roze, et al.. Assets and limitations of parallel Angle Resolved XPS for chemical depth profiling on the 14nm and 28nm node technology. ECASIA 2017, Sep 2017, Montpellier, France. ⟨hal-01960746⟩
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