Assets and limitations of parallel Angle Resolved XPS for chemical depth profiling on the 14nm and 28nm node technology - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Assets and limitations of parallel Angle Resolved XPS for chemical depth profiling on the 14nm and 28nm node technology

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960746

Soumis le : mercredi 19 décembre 2018-15:21:56

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01960746 , version 1 (19-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960746 , version 1

Citer

L. Fauquier, B. Pelissier, J. Avila, M.-C. Asensio, F. Roze, et al.. Assets and limitations of parallel Angle Resolved XPS for chemical depth profiling on the 14nm and 28nm node technology. ECASIA 2017, Sep 2017, Montpellier, France. ⟨hal-01960746⟩

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