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Communication dans un congrès

Assets and limitations of parallel Angle Resolved XPS for chemical depth profiling on the 14nm and 28nm node technology

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960746
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 15:21:56
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960746, version 1

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Citation

L. Fauquier, B. Pelissier, J. Avila, M.-C. Asensio, F. Roze, et al.. Assets and limitations of parallel Angle Resolved XPS for chemical depth profiling on the 14nm and 28nm node technology. ECASIA 2017, Sep 2017, Montpellier, France. ⟨hal-01960746⟩

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