Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960479
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018-14:16:41
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05
Dates et versions
Licence
Identifiants
- HAL Id : hal-01960479 , version 1
Citer
C. Vallee, R. Vallat, R. Gassilloud, V. Pesce, N. Posseme, et al.. ASD process using ALD, etching (plasma or ALE) and surface passivation. ASD18 – 3rd area selective deposition workshop, Apr 2018, Raleigh, United States. ⟨hal-01960479⟩
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