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Communication dans un congrès

Area Selective Deposition

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960455
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 14:04:47
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960455, version 1

Collections

Citation

C. Vallee, R. Vallat, R. Gassilloud, V. Pesce, N. Posseme, et al.. Area Selective Deposition. Belux 3 training school: Chemistry of Atomic Layer Deposition, Mar 2018, Belvaux, Luxembourg. ⟨hal-01960455⟩

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