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Communication dans un congrès

Atomic Layer Processing (from ALD to ASD) for next generation of SC devices

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960040
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 10:31:52
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:33

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960040, version 1

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Citation

C. Vallee, C. Mannequin. Atomic Layer Processing (from ALD to ASD) for next generation of SC devices. 2018 Joint Symposium on Energy Materials Science and Technology (Workshop of Pre-Strategic Initiatives), Mar 2018, Tsukuba, Japan. ⟨hal-01960040⟩

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