Influence of low and medium ion energy in PEALD processes - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Influence of low and medium ion energy in PEALD processes

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01959057

Soumis le : mardi 18 décembre 2018-14:15:21

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

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Dates et versions

hal-01959057 , version 1 (18-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01959057 , version 1

Citer

M. Bonvalot, C. Vallee, S. Belhacen, V. Pesce, A. Chaker, et al.. Influence of low and medium ion energy in PEALD processes. 18th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2018), Jul 2018, Incheon, South Korea. ⟨hal-01959057⟩

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