Influence of low and medium ion energy in PEALD processes - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2018
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01959057 , version 1 (18-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01959057 , version 1

Citer

M. Bonvalot, C. Vallee, S. Belhacen, V. Pesce, A. Chaker, et al.. Influence of low and medium ion energy in PEALD processes. 18th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2018), Jul 2018, Incheon, South Korea. ⟨hal-01959057⟩
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