Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

In situ and ex situ monitoring and metrology for the development of a selective deposition process

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01959042
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 18 décembre 2018 - 14:04:15
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:34

Identifiants

  • HAL Id : hal-01959042, version 1

Collections

Citation

C. Vallee, R. Gassilloud, B. Pelissier, R. Vallat, V. Pesce, et al.. In situ and ex situ monitoring and metrology for the development of a selective deposition process. 18th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2018), Jul 2018, Incheon, South Korea. ⟨hal-01959042⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

32