Annealing treatments of cylindrical siloxane-based block copolymers optimized for nanomanufacturing

Sophie Böhme; Javier Arias-Zapata; Jérome Garnier; Cécile Girardot; Antoine Legrain; Marc Zelsmann

doi:10.1016/j.mne.2018.10.005

Article Dans Une Revue Micro and Nano Engineering Année : 2018

Annealing treatments of cylindrical siloxane-based block copolymers optimized for nanomanufacturing

, (1) , , , (1) , (1)

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Sophie Böhme

Fonction : Auteur

Javier Arias-Zapata

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

Jérome Garnier

Fonction : Auteur

Cécile Girardot

Fonction : Auteur
PersonId : 863036

Antoine Legrain

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marc Zelsmann

Fonction : Auteur
PersonId : 740118
IdHAL : marc-zelsmann
ORCID : 0000-0002-7619-4871
IdRef : 07808198X

Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

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Soumis le : vendredi 14 décembre 2018-08:39:11

Dernière modification le : jeudi 18 avril 2024-12:45:45

Dates et versions

hal-01954875 , version 1 (14-12-2018)

Identifiants

HAL Id : hal-01954875 , version 1
DOI : 10.1016/j.mne.2018.10.005

Citer

Sophie Böhme, Javier Arias-Zapata, Jérome Garnier, Cécile Girardot, Antoine Legrain, et al.. Annealing treatments of cylindrical siloxane-based block copolymers optimized for nanomanufacturing. Micro and Nano Engineering, 2018, 1, pp.56-62. ⟨10.1016/j.mne.2018.10.005⟩. ⟨hal-01954875⟩

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