Annealing treatments of cylindrical siloxane-based block copolymers optimized for nanomanufacturing - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue Micro and Nano Engineering Année : 2018

Annealing treatments of cylindrical siloxane-based block copolymers optimized for nanomanufacturing

Sophie Böhme
  • Fonction : Auteur
Javier Arias-Zapata
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Jérome Garnier
  • Fonction : Auteur
Cécile Girardot
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 863036
Antoine Legrain
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Marc Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

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Soumis le : vendredi 14 décembre 2018-08:39:11

Dernière modification le : mercredi 30 octobre 2024-18:15:49

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Dates et versions

hal-01954875 , version 1 (14-12-2018)

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Citer

Sophie Böhme, Javier Arias-Zapata, Jérome Garnier, Cécile Girardot, Antoine Legrain, et al.. Annealing treatments of cylindrical siloxane-based block copolymers optimized for nanomanufacturing. Micro and Nano Engineering, 2018, 1, pp.56-62. ⟨10.1016/j.mne.2018.10.005⟩. ⟨hal-01954875⟩

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