Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

Different approaches to reduce DSA defectivity by dry-etching

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01930204
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 21 novembre 2018 - 16:38:19
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:05

Identifiants

  • HAL Id : hal-01930204, version 1

Collections

Citation

P. Bézard, G. Cunge, X. Chevalier, G. Lombard, A. Legrain, et al.. Different approaches to reduce DSA defectivity by dry-etching. Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop – PESM 2017, Oct 2017, Leuven (Belgique), Belgium. ⟨hal-01930204⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

26