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Impact of laser anneal on NiPt silicide texture and chemical composition

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01929335
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 21 novembre 2018 - 10:29:08
Dernière modification le : jeudi 30 juillet 2020 - 03:00:32

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C. Feautrier, A. Ozcan, C. Lavoie, A. Valery, R. Beneyton, et al.. Impact of laser anneal on NiPt silicide texture and chemical composition. Journal of Applied Physics, American Institute of Physics, 2017, 121 (22), ⟨10.1063/1.4985279⟩. ⟨hal-01929335⟩

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