Impact of laser anneal on NiPt silicide texture and chemical composition - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2017

Impact of laser anneal on NiPt silicide texture and chemical composition

C. Feautrier
  • Fonction : Auteur
A. Ozcan
  • Fonction : Auteur
C. Lavoie
  • Fonction : Auteur
A. Valery
  • Fonction : Auteur
R. Beneyton
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
C. Borowiak
  • Fonction : Auteur
L. Clément
  • Fonction : Auteur
A. Pofelski
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
B. Salem
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

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hal-01929335 , version 1 (21-11-2018)

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Citer

C. Feautrier, A. Ozcan, C. Lavoie, A. Valery, R. Beneyton, et al.. Impact of laser anneal on NiPt silicide texture and chemical composition. Journal of Applied Physics, 2017, 121 (22), ⟨10.1063/1.4985279⟩. ⟨hal-01929335⟩

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