WET and SiconiTM cleaning sequences for SiGe pMOS channel - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

WET and SiconiTM cleaning sequences for SiGe pMOS channel

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01929214

Soumis le : mercredi 21 novembre 2018-09:38:50

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:48:19

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01929214 , version 1 (21-11-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01929214 , version 1

Citer

P.E. Raynal, V. Loup, L. Vallier, M. Martin, J. Moeyaert, et al.. WET and SiconiTM cleaning sequences for SiGe pMOS channel. 19th Surface Preparation and Cleaning Conference (SPCC 2017), 2017, austin, United States. ⟨hal-01929214⟩

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