Communication Dans Un Congrès
Année : 2017
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01929214
Soumis le : mercredi 21 novembre 2018-09:38:50
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:37
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01929214 , version 1
Citer
P.E. Raynal, V. Loup, L. Vallier, M. Martin, J. Moeyaert, et al.. WET and SiconiTM cleaning sequences for SiGe pMOS channel. 19th Surface Preparation and Cleaning Conference (SPCC 2017), 2017, austin, United States. ⟨hal-01929214⟩
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