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Communication dans un congrès

WET and SiconiTM cleaning sequences for SiGe pMOS channel

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01929214
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 21 novembre 2018 - 09:38:50
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:02:19

Identifiants

  • HAL Id : hal-01929214, version 1

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Citation

P.E. Raynal, V. Loup, L. Vallier, M. Martin, J. Moeyaert, et al.. WET and SiconiTM cleaning sequences for SiGe pMOS channel. 19th Surface Preparation and Cleaning Conference (SPCC 2017), 2017, austin, United States. ⟨hal-01929214⟩

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