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Communication dans un congrès

Optimization of optical performances in sub-micron silicon-on-insulator rib and strip waveguides by thermal annealing under H2

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01927791
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 20 novembre 2018 - 10:20:16
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:07

Identifiants

  • HAL Id : hal-01927791, version 1

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Citation

C. Bellegarde, E. Pargon, C. Sciancalepore, C. Petit-Etienne, V. Hughes, et al.. Optimization of optical performances in sub-micron silicon-on-insulator rib and strip waveguides by thermal annealing under H2. Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 10th International Workshop, Oct 2017, Leuven, Belgium. ⟨hal-01927791⟩

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