Optimization of optical performances in sub-micron silicon-on-insulator rib and strip waveguides by thermal annealing under H2 - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Optimization of optical performances in sub-micron silicon-on-insulator rib and strip waveguides by thermal annealing under H2

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01927791

Soumis le : mardi 20 novembre 2018-10:20:16

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:42:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01927791 , version 1 (20-11-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01927791 , version 1

Citer

C. Bellegarde, E. Pargon, C. Sciancalepore, C. Petit-Etienne, V. Hughes, et al.. Optimization of optical performances in sub-micron silicon-on-insulator rib and strip waveguides by thermal annealing under H2. Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 10th International Workshop, Oct 2017, Leuven, Belgium. ⟨hal-01927791⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS LTM PLASMA_ETCHING DRT LETI CEA-GRE
25 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More