Brevet
Année : 2013
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01905089
Soumis le : jeudi 25 octobre 2018-15:31:06
Dernière modification le : samedi 27 septembre 2025-19:26:37
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01905089 , version 1
Citer
T. Baron, F. Bassani. Procédé optimisé de fabrication de motifs de matériau semi-conducteur III-V sur un substrat semi-conducteur.. France, Patent n° : Brevet FRA 1358813. 2013. ⟨hal-01905089⟩
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