Dispositif de réalisation d’un dépôt de particules sur un substrat et procédé de dépôt utilisant un tel dispositif. - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2014

Dispositif de réalisation d’un dépôt de particules sur un substrat et procédé de dépôt utilisant un tel dispositif.

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01905065 , version 1 (25-10-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01905065 , version 1

Citer

K. Berton, E. Picard, J. Cordeiro, M. Zelsmann, D. Peyrade. Dispositif de réalisation d’un dépôt de particules sur un substrat et procédé de dépôt utilisant un tel dispositif.. France, Patent n° : BD15310 SG - N/Réf.CEA150FR. 2014. ⟨hal-01905065⟩
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