Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Physico-chemical characterization of III-V heterostructures epitaxied on 300 mm Si substrates by Atom Probe Tomography and ToF-SIMS

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01891380

Soumis le : mardi 9 octobre 2018-15:02:12

Dernière modification le : mercredi 26 novembre 2025-11:49:04

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Dates et versions

hal-01891380 , version 1 (09-10-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01891380 , version 1

Citer

Georges Beainy, Tiphaine Cerba, Reynald Alcotte, Franck Bassani, Mickaël Martin, et al.. Physico-chemical characterization of III-V heterostructures epitaxied on 300 mm Si substrates by Atom Probe Tomography and ToF-SIMS. 2017 EMRS Fall Meeting, 2017, Warsaw, Poland. ⟨hal-01891380⟩

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