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Communication dans un congrès

Physico-chemical characterization of III-V heterostructures epitaxied on 300 mm Si substrates by Atom Probe Tomography and ToF-SIMS

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01891380
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 9 octobre 2018 - 15:02:12
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:19

Identifiants

  • HAL Id : hal-01891380, version 1

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Citation

Georges Beainy, Tiphaine Cerba, Reynald Alcotte, Franck Bassani, Mickaël Martin, et al.. Physico-chemical characterization of III-V heterostructures epitaxied on 300 mm Si substrates by Atom Probe Tomography and ToF-SIMS. 2017 EMRS Fall Meeting, 2017, Warsaw, Poland. ⟨hal-01891380⟩

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