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Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Plasma solutions for nanometric-precision etching: insights from MD simulations

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882912

Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-15:06:59

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:53:06

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Dates et versions

hal-01882912 , version 1 (27-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882912 , version 1

Citer

E. Despiau-Pujo, P. Brichon, V. Martirosyan, O. Joubert. Plasma solutions for nanometric-precision etching: insights from MD simulations. Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), May 2016, Grenoble, France. ⟨hal-01882912⟩

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