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Communication dans un congrès

Plasma solutions for nanometric-precision etching: insights from MD simulations

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882912
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 15:06:59
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:05

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882912, version 1

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Citation

E. Despiau-Pujo, P. Brichon, V. Martirosyan, O. Joubert. Plasma solutions for nanometric-precision etching: insights from MD simulations. Plasma Etch Strip in Microtechnology (PESM), May 2016, Grenoble, France. ⟨hal-01882912⟩

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