Ion-induced damage and etching in reactive plasmas: Modelling and experimental support - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Ion-induced damage and etching in reactive plasmas: Modelling and experimental support

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882808

Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-14:17:58

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:32

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01882808 , version 1 (27-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882808 , version 1

Citer

E. Despiau-Pujo, P. Brichon, V. Martirosyan, O. Joubert. Ion-induced damage and etching in reactive plasmas: Modelling and experimental support. 1st EUCASS Aerospace Thematic Workshops (ATW), Sep 2016, Aussois, France. ⟨hal-01882808⟩

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