Origin of stress in sputtered CdTe and ZnS films: influence of sputter Ion mass on mechanical and chemical layer properties - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Origin of stress in sputtered CdTe and ZnS films: influence of sputter Ion mass on mechanical and chemical layer properties

S. Liénard
  • Fonction : Auteur
D. Sam-Giao
  • Fonction : Auteur
A. Kerlain
  • Fonction : Auteur
F. Boulard
  • Fonction : Auteur
Corentin Vallée
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

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Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-13:53:11

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Dates et versions

hal-01882776 , version 1 (27-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882776 , version 1

Citer

S. Liénard, D. Sam-Giao, A. Kerlain, F. Boulard, Corentin Vallée. Origin of stress in sputtered CdTe and ZnS films: influence of sputter Ion mass on mechanical and chemical layer properties. AVS 2016, 2016, Nashville (USA), United States. ⟨hal-01882776⟩

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