Evolution of TiN oxidation depending on the film’s temperature at vacuum break - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology A Année : 2016

Evolution of TiN oxidation depending on the film’s temperature at vacuum break

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882747

Soumis le : jeudi 27 septembre 2018-13:13:11

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Dates et versions

hal-01882747 , version 1 (27-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882747 , version 1

Citer

F. Piallat, R. Gassilloud, P. Caubet, Corentin Vallée. Evolution of TiN oxidation depending on the film’s temperature at vacuum break. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2016, 34, pp.051508. ⟨hal-01882747⟩

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