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Evolution of TiN oxidation depending on the film’s temperature at vacuum break

Type de document :
Article dans une revue
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882747
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 13:13:11
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882747, version 1

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Citation

F. Piallat, R. Gassilloud, P. Caubet, Corentin Vallée. Evolution of TiN oxidation depending on the film’s temperature at vacuum break. Journal of Vacuum Science and Technology A, 2016, 34, pp.051508. ⟨hal-01882747⟩

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