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Ultrafast Assembly of PS-PDMS Block Copolymers on 300 mm Wafers by Blending with Plasticizers

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882498
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 10:00:46
Dernière modification le : jeudi 30 juillet 2020 - 03:00:41

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Javier Arias-Zapata, Sophie Böhme, Jérôme Garnier, Cécile Girardot, Antoine Legrain, et al.. Ultrafast Assembly of PS-PDMS Block Copolymers on 300 mm Wafers by Blending with Plasticizers. Advanced Functional Materials, Wiley, 2016, 26 (31), pp.5690 - 5700. ⟨10.1002/adfm.201601469⟩. ⟨hal-01882498⟩

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