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Communication dans un congrès

Characterization of High-k Bilayer Gate Stack Breakdown Mechanisms at Nanometric Scale

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882039
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 26 septembre 2018 - 15:15:22
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882039, version 1

Collections

Citation

M. Kogelschatz, R. Foissac, S. Blonkowski. Characterization of High-k Bilayer Gate Stack Breakdown Mechanisms at Nanometric Scale. 10th International Materials Technology Conference & Exhibition, May 2016, Kuala Lumpur, Malaysia. ⟨hal-01882039⟩

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