Article Dans Une Revue
Surface and Interface Analysis
Année : 2016
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01881936
Soumis le : mercredi 26 septembre 2018-14:14:46
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:09
Citer
Laurent Fauquier, Bernard Pelissier, Denis Jalabert, Francois Pierre, Delphine Doloy, et al.. Depth profiling analysis of HfON on SiON ultrathin films by parallel angle resolved x-ray photoelectron spectroscopy and medium energy ion scattering. Surface and Interface Analysis, 2016, 48 (7), pp.436 - 439. ⟨10.1002/sia.5917⟩. ⟨hal-01881936⟩
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