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Communication dans un congrès

Potential Solutions for Atomic Precision Etching

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878408
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : vendredi 21 septembre 2018 - 09:20:22
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:07

Identifiants

  • HAL Id : hal-01878408, version 1

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Citation

O. Joubert, E. Despiau-Pujo, G. Cunge, P. Brichon, J Dubois, et al.. Potential Solutions for Atomic Precision Etching. SPIE Advanced Etch Technology for Nanopatterning IV,, Feb 2015, San José, United States. ⟨hal-01878408⟩

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