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Communication dans un congrès

Potential Solutions for Atomic Precision Etching

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878051
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018 - 15:50:23
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01878051, version 1

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Citation

O. Joubert, E. Despiau-Pujo, G. Cunge, P. Brichon, J Dubois, et al.. Potential Solutions for Atomic Precision Etching. SPIE Advanced Etch Technology for Nanopatterning IV, Feb 2015, San José, United States. ⟨hal-01878051⟩

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