Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878051
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018-15:50:23
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:40:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01878051 , version 1
Citer
O. Joubert, E. Despiau-Pujo, G. Cunge, P. Brichon, J Dubois, et al.. Potential Solutions for Atomic Precision Etching. SPIE Advanced Etch Technology for Nanopatterning IV, Feb 2015, San José, United States. ⟨hal-01878051⟩
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